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●有別于硅基芯片是晶體管的二維集成，碳基芯片能實(shí)現(xiàn)晶體管的三維集成，達(dá)到更高的集成度，在理論上具有更高的性能潛力

●重慶具備豐富的應(yīng)用場(chǎng)景，一旦碳基芯片實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)，就能在這里快速落地應(yīng)用

●“十五五”時(shí)期，計(jì)劃打造28納米碳基集成電路生產(chǎn)線，對(duì)標(biāo)7納米硅基集成電路性能，到2028年實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)碳基晶圓10萬(wàn)片的目標(biāo)

國(guó)內(nèi)首條碳基集成電路生產(chǎn)線為何誕生在重慶？碳基芯片能打破摩爾定律的“天花板”，取代硅基芯片成為主流嗎？“中國(guó)芯”能憑此逆風(fēng)翻盤，實(shí)現(xiàn)“換道超車”嗎？碳基芯片距離我們的生活還有多遠(yuǎn)……隨著不久前國(guó)內(nèi)首條碳基集成電路生產(chǎn)線在渝投運(yùn)，人們對(duì)“中國(guó)芯”有了新期待。近日，記者帶著一系列問(wèn)題，走進(jìn)北京大學(xué)重慶碳基集成電路研究院（以下簡(jiǎn)稱北大重慶碳基院）。

25年“磨一劍”

“要想不受制于人，我們必須要發(fā)展自己的集成電路技術(shù)”

一棟位于西部（重慶）科學(xué)城西永微電園的三層小樓，是北大重慶碳基院的所在地。今年4月，研究院剛從附近一處臨時(shí)辦公場(chǎng)地喬遷于此。

剛走進(jìn)研究院，一塊大屏幕便映入記者的眼簾。屏幕上顯示的，是國(guó)內(nèi)首條碳基集成電路生產(chǎn)線的實(shí)時(shí)場(chǎng)景——

潔凈的生產(chǎn)車間里，幾名身著防塵服的工人來(lái)回走動(dòng)，他們身旁的設(shè)備有序運(yùn)行著。一道道工序完成后，碳基晶圓便從這里下線。

“在這條生產(chǎn)線上，碳基集成電路專用設(shè)備有十幾臺(tái)，都是國(guó)產(chǎn)的，一部分還是由我們北大團(tuán)隊(duì)和研究院團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的。”北京大學(xué)電子學(xué)院教授、北大重慶碳基院院長(zhǎng)張志勇介紹。

研究院展廳里，兩片薄薄的8英寸碳基晶圓放在玻璃展示柜上。經(jīng)過(guò)后續(xù)加工，一片晶圓能分割出100多顆碳基芯片。目前，生產(chǎn)線已投運(yùn)一個(gè)月，像這樣的晶圓已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

“這一天，我們等了25年！”張志勇感慨。

碳基芯片，顧名思義，是以碳為核心材料制造而成。具體而言，北大重慶碳基院采用的是碳納米管。這種材料于20世紀(jì)90年代被發(fā)現(xiàn)，是一種由碳原子組成的微小管狀結(jié)構(gòu)。以中國(guó)科學(xué)院院士彭練矛領(lǐng)銜的北大碳基團(tuán)隊(duì)，已研究了25年。

碳基晶圓旁邊擺放著一個(gè)碳納米管模型，它比實(shí)際的碳納米管放大了一億倍?！疤技{米管直徑只有1—2納米，相當(dāng)于頭發(fā)絲的50萬(wàn)分之一。”張志勇介紹。

這些管子雖小，卻有強(qiáng)大到令人驚嘆的特性——電子在碳納米管里的移動(dòng)速度比在硅里快約10倍，這意味著，它能制造出運(yùn)算速度更快的電子器件，且功耗低、散熱效果好。更重要的是，有別于硅基芯片是晶體管的二維集成，碳基芯片能實(shí)現(xiàn)晶體管的三維集成，達(dá)到更高的集成度，在理論上具有更高的性能潛力，從而打破摩爾定律的“天花板”，突破當(dāng)前硅基芯片面臨的技術(shù)瓶頸。

事實(shí)上，20世紀(jì)90年代，國(guó)內(nèi)外知名高校、科研機(jī)構(gòu)和企業(yè)都對(duì)碳納米管表現(xiàn)出極大興趣，曾掀起一波研究熱潮。不過(guò)，那時(shí)研究人員是基于單根碳納米管展開(kāi)研究，他們認(rèn)為要將幾十億甚至上百億根碳納米管晶體管集成在一張基底材料上，是一個(gè)不可能完成的任務(wù)，因而無(wú)法制備出碳基芯片。

后來(lái)，不少研究團(tuán)隊(duì)都選擇了放棄，但北大碳基團(tuán)隊(duì)一直在堅(jiān)持。

為何要堅(jiān)持？為何能堅(jiān)持？

張志勇坦言，硅基芯片在美國(guó)已發(fā)展了60多年，在整個(gè)硅基芯片的研發(fā)上，我國(guó)落后很多，不論是材料還是設(shè)備、軟件、制造工藝等，都是購(gòu)買別人的，想要在硅基的道路上“超車”不太現(xiàn)實(shí)，需要“換道”。而碳基芯片對(duì)全球來(lái)說(shuō)都是一條全新的賽道，更何況目前我們還處于相對(duì)領(lǐng)先的位置，甚至有望憑此“換道超車”，“要想不受制于人，我們必須要發(fā)展自己的集成電路技術(shù)?！睆堉居抡f(shuō)。

為此，自2001年以來(lái)，在國(guó)家持續(xù)20年的專項(xiàng)支持下，北大碳基團(tuán)隊(duì)從零開(kāi)始，探索用碳納米管材料制備集成電路的方法，研發(fā)出一整套高性能碳納米管晶體管的無(wú)摻雜制備方法。

技術(shù)落地“一線牽”

“一條8英寸硅光特色工藝生產(chǎn)線，讓團(tuán)隊(duì)眼前一亮”

2020年，北大碳基團(tuán)隊(duì)首次制備出達(dá)到大規(guī)模碳基集成電路所需的高純、高密度碳納米管陣列材料，并加工出性能超越硅基集成電路的碳納米管集成電路，相關(guān)研究成果在世界頂級(jí)期刊《科學(xué)》上發(fā)表。

然而，這并不意味著碳基集成電路技術(shù)就完成了技術(shù)落地，具備市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。把學(xué)校實(shí)驗(yàn)室的技術(shù)變成一個(gè)可規(guī)模生產(chǎn)的工業(yè)化技術(shù)，讓碳基芯片實(shí)現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)和應(yīng)用，這中間還有很長(zhǎng)的路要走。

在張志勇看來(lái)，要實(shí)現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)，就需要專用的生產(chǎn)線，這是學(xué)校所不具備的。他們要走出學(xué)校，爭(zhēng)取更多資源，開(kāi)展碳基集成電路的工程化和未來(lái)的產(chǎn)業(yè)化研究。

2021年，北大重慶碳基院常務(wù)副院長(zhǎng)劉洪剛加入北大碳基團(tuán)隊(duì)，他的主要工作，就是推動(dòng)碳基集成電路技術(shù)的工業(yè)化和產(chǎn)業(yè)化。

劉洪剛回憶，那時(shí)，團(tuán)隊(duì)在國(guó)內(nèi)不少地方都進(jìn)行了考察，一些省市甚至主動(dòng)找上門，給出很有吸引力的政策。但經(jīng)過(guò)一年的調(diào)研和洽談，以及深思熟慮，他們最終選擇了重慶。

原因有多方面：首先，重慶是中西部唯一的直轄市，在國(guó)家發(fā)展戰(zhàn)略中占有重要地位；其次，重慶擁有產(chǎn)業(yè)化人才資源，不僅本地有很多電子類院校，還引進(jìn)和培育了大量新型研發(fā)機(jī)構(gòu)，吸引和聚集了很多產(chǎn)業(yè)化人才；再次，從國(guó)家到地方都制定和出臺(tái)了不少政策，支持重慶大力發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)；另外，重慶的智能網(wǎng)聯(lián)新能源汽車、新一代電子信息等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，讓這里具備豐富的應(yīng)用場(chǎng)景，一旦碳基芯片實(shí)現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)，就能在這里快速落地應(yīng)用。

劉洪剛透露，這當(dāng)中還有一個(gè)重要原因：在重慶市政府的支持下，西永微電園基于一流的產(chǎn)業(yè)資源和政策優(yōu)勢(shì)，當(dāng)時(shí)已成功搭建了一條8英寸硅光特色工藝生產(chǎn)線，這讓團(tuán)隊(duì)眼前一亮。

“盡管這條生產(chǎn)線和我們的技術(shù)路徑不一樣，但在此基礎(chǔ)上進(jìn)行改造，增加一些碳基集成電路專用設(shè)備，就能迅速搭建起一條碳基集成電路生產(chǎn)線?！眲⒑閯偢嬖V記者，碳基集成電路的工程化和產(chǎn)業(yè)化有許多問(wèn)題亟待解決，需要很長(zhǎng)的時(shí)間和大量的投入，能在現(xiàn)有資源的基礎(chǔ)上建設(shè)生產(chǎn)線，無(wú)疑將節(jié)省大量的時(shí)間和投入。

最終，這條生產(chǎn)線讓北大碳基團(tuán)隊(duì)與重慶“牽線”成功。2023年11月，北大重慶碳基院在西永微電園正式揭牌成立，就在這條生產(chǎn)線附近“安了家”。

也是從那一年起，劉洪剛開(kāi)始常駐重慶。“剛來(lái)時(shí)，我們雖在臨時(shí)場(chǎng)地辦公，但距離生產(chǎn)線只有三五百米。團(tuán)隊(duì)人員隔三差五就往生產(chǎn)線跑，甚至從早到晚就泡在車間里?！彼寡?，從實(shí)驗(yàn)室的技術(shù)研究，到生產(chǎn)線的工程化驗(yàn)證，這一步很關(guān)鍵。盡管團(tuán)隊(duì)在實(shí)驗(yàn)室里做出了一些碳基芯片，效果不錯(cuò)，但要從生產(chǎn)線上加工出來(lái)，會(huì)面臨一些新的技術(shù)難題，有待團(tuán)隊(duì)進(jìn)行二次開(kāi)發(fā)。

經(jīng)過(guò)一年多的攻關(guān)，隨著生產(chǎn)線“動(dòng)”起來(lái)，一片片碳基晶圓開(kāi)始下線，整個(gè)工藝流程走通了！

第一片碳基晶圓下線后，劉洪剛發(fā)了一條微信朋友圈，放上了一張“新鮮出爐”的晶圓照片。第一時(shí)間，他的朋友圈就炸了鍋。

轉(zhuǎn)化成果“孵金蛋”

“碳基芯片可繞過(guò)先進(jìn)光刻機(jī)的限制，具有更廣泛的應(yīng)用前景”

早在2009年，國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展路線圖（ITRS）委員會(huì)就把碳納米管列為延續(xù)摩爾定律的未來(lái)集成電路材料選擇。如今，用碳納米管晶體管制備的碳基芯片，綜合性能可以比硅基芯片提高成百上千倍，逐漸成為學(xué)界的共識(shí)。

目前，北大重慶碳基院團(tuán)隊(duì)已組建起一支60人的碳基工程化隊(duì)伍，由彭練矛院士擔(dān)任首席科學(xué)家，高層次青年人才擔(dān)任核心骨干，碩博比例達(dá)到50%以上。

“在碳基集成電路技術(shù)的工程化發(fā)展上，可以說(shuō)，我們從鄉(xiāng)村小路走上了高速路?！睆堉居赂锌?/p>

事實(shí)上，團(tuán)隊(duì)還有更長(zhǎng)遠(yuǎn)的技術(shù)發(fā)展規(guī)劃——“十四五”時(shí)期，在上述碳基集成電路生產(chǎn)線上，完成從器件設(shè)計(jì)、單步工藝、工藝集成到器件優(yōu)化的全流程技術(shù)能力建設(shè)，邁出碳基芯片從實(shí)驗(yàn)室走向工程化的第一步。在此基礎(chǔ)上，“十五五”時(shí)期，獨(dú)立打造28納米碳基集成電路生產(chǎn)線，對(duì)標(biāo)7納米硅基集成電路性能，到2028年實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)碳基晶圓10萬(wàn)片的目標(biāo)。

事實(shí)上，團(tuán)隊(duì)在工藝技術(shù)上保持領(lǐng)先水平的同時(shí)，也為重慶打造碳基集成電路技術(shù)高地和產(chǎn)業(yè)化高地先發(fā)優(yōu)勢(shì)奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

“在這一年多的時(shí)間里，我們和西永微電園的多家企業(yè)建立了合作關(guān)系，已深度融入重慶集成電路產(chǎn)業(yè)鏈上下游?！眲⒑閯傉f(shuō)，近期，研究院還與重慶賽寶工業(yè)技術(shù)研究院達(dá)成合作，在西永微電園建設(shè)碳基集成電路檢測(cè)中心，打造國(guó)內(nèi)一流的檢測(cè)平臺(tái)，面向行業(yè)提供公共服務(wù)。

“將尺寸更小、速度更快、性能更強(qiáng)、功耗更低的碳基芯片推至行業(yè)主流，讓人們更好地享受智能時(shí)代的生活，是團(tuán)隊(duì)的未來(lái)目標(biāo)。盡管路還很長(zhǎng)，但我們已經(jīng)在通過(guò)‘沿途下蛋’的方式，推動(dòng)成果落地轉(zhuǎn)化。”該團(tuán)隊(duì)相關(guān)負(fù)責(zé)人說(shuō)。

“碳基芯片可以繞過(guò)先進(jìn)光刻機(jī)的限制，具有更廣泛的應(yīng)用前景?！北贝笾貞c碳基院技術(shù)研發(fā)人員王程博稱，目前，研究院正聚焦智能傳感、模擬射頻、先進(jìn)電子、AI芯片四個(gè)應(yīng)用方向，逐步推進(jìn)碳基芯片產(chǎn)品的應(yīng)用開(kāi)發(fā)。

在研究院的展廳內(nèi)，擺放著一款氫氣檢測(cè)儀。這是研究院團(tuán)隊(duì)聚焦智能傳感領(lǐng)域開(kāi)發(fā)的全球首款碳基手持式氫氣檢測(cè)儀。該檢測(cè)儀具有黑色的外表，只有遙控器一般大小。因?yàn)閮?nèi)置了一顆碳基芯片，它已展現(xiàn)出強(qiáng)大的功能。

“這款產(chǎn)品已在重慶多家車企進(jìn)行了應(yīng)用?！蓖醭滩┙榻B，只要將它靠近氫能源汽車，就能快速檢測(cè)是否有氫氣泄漏。即便是在新疆等地的極端氣候下，它也展現(xiàn)出穩(wěn)定的性能，可以為氫能源汽車發(fā)展提供安全保障。

像這樣搭載碳基芯片的產(chǎn)品，今后還將有很多。劉洪剛介紹，目前，北大重慶碳基院已成立了產(chǎn)業(yè)孵化平臺(tái)，通過(guò)提供“人才培養(yǎng)、平臺(tái)共享、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、種子基金”等扶持政策，未來(lái)將重點(diǎn)孵化5家創(chuàng)新型科技企業(yè)，加快培育壯大碳基集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

劉洪剛稱，碳基集成電路一旦進(jìn)入主流集成電路市場(chǎng)，將帶動(dòng)上下游產(chǎn)生千億量級(jí)的產(chǎn)值，助力重慶成為集成電路技術(shù)與人才高地，為重慶打造萬(wàn)億級(jí)新一代電子信息制造業(yè)集群貢獻(xiàn)力量。